Phosphorus and aluminum gettering - investigation of synergistic effects in single-crystal and multicrystalline silicon SAND-95-2716C DE96 010526 CONF-96051312

Phosphorus and aluminum gettering - investigation of synergistic effects in single-crystal and multicrystalline silicon

SAND-95-2716C DE96 010526 CONF-96051312

国立国会図書館請求記号: LS-DE96/010526
国立国会図書館書誌ID: 000005855914

資料種別: 規格・テクニカルリポート類

著者: Schubert, W. Kほか

出版者: -

出版年: 1996

資料形態: マイクロ

ページ数・大きさ等: 4 p. (1 microfiche)

NDC: -

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書誌情報

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マイクロ

資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Phosphorus and aluminum gettering - investigation of synergistic effects in single-crystal and multicrystalline silicon
著者・編者: Schubert, W. K
Gee, J. M
出版年月日等: 1996
出版年（W3CDTF）: 1996
数量: 4 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-95-2716C
テクニカルリポート番号 : DE96 010526
テクニカルリポート番号 : CONF-96051312
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE96/010526
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005855914
http://id.ndl.go.jp/bib/000005855914
整理区分コード: 291