規格・テクニカルリポート類

Microwave annealing of ion implanted 6H-SiC CONF-950412-66 DE96 010667

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Microwave annealing of ion implanted 6H-SiC

CONF-950412-66 DE96 010667

国立国会図書館請求記号
LS-DE96/010667
国立国会図書館書誌ID
000005856197
資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者
Gardner, J. Aほか
出版者
-
出版年
1996
資料形態
マイクロ
ページ数・大きさ等
7 p. (1 microfiche)
NDC
-
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マイクロ

資料種別
規格・テクニカルリポート類
タイトル
Microwave annealing of ion implanted 6H-SiC
著者・編者
Gardner, J. A
Rao, M. V
Tian, Y. L
Holland, O. W
Kelner, G
出版年月日等
1996
出版年（W3CDTF）
1996
数量
7 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）
[microform]
リポート番号
テクニカルリポート番号 : CONF-950412-66
テクニカルリポート番号 : DE96 010667
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
LS-DE96/010667