Measuring the effect of scatter on the performance of a lithography system

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Measuring the effect of scatter on the performance of a lithography system
• 著者・編者: La Fontaine, B; Daly, T. P; Chapman, H. N; Gaines, D. P; Stearns, D. G
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 5 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : UCRL-JC-123064; テクニカルリポート番号 : DE96 012225; テクニカルリポート番号 : CONF-96049312
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/012225
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005856298; http://id.ndl.go.jp/bib/000005856298
• 整理区分コード: 291