Strong segregation gettering of transition metals by implantation-formed cavities and boron-silicide precipitates in silicon SAND-96-0612C DE96 011837 CONF-96061362

Strong segregation gettering of transition metals by implantation-formed cavities and boron-silicide precipitates in silicon

SAND-96-0612C DE96 011837 CONF-96061362

国立国会図書館請求記号: LS-DE96/011837
国立国会図書館書誌ID: 000005857127

資料種別: 規格・テクニカルリポート類

著者: Myers, S. Mほか

出版者: -

出版年: 1996

資料形態: マイクロ

ページ数・大きさ等: 22 p. (1 microfiche)

NDC: -

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書誌情報

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マイクロ

資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Strong segregation gettering of transition metals by implantation-formed cavities and boron-silicide precipitates in silicon
著者・編者: Myers, S. M
Petersen, G. A
Follstaedt, D. M
Headley, T. J
出版年月日等: 1996
出版年（W3CDTF）: 1996
数量: 22 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-0612C
テクニカルリポート番号 : DE96 011837
テクニカルリポート番号 : CONF-96061362
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE96/011837
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005857127
http://id.ndl.go.jp/bib/000005857127
整理区分コード: 291