New developments in electrical linewidth and overlay metrology for ULSI fabrication processes

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: New developments in electrical linewidth and overlay metrology for ULSI fabrication processes
• 著者・編者: Cresswell, M. W; Allen, R. A; Linholm, L. W; Ghoshtagore, R. N; Teague, E. C
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 9 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-1360C; テクニカルリポート番号 : DE96 011848; テクニカルリポート番号 : CONF-96071251
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE96/011848
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005857358; http://id.ndl.go.jp/bib/000005857358
• 整理区分コード: 291