Sandia/SEMATECH Contamination Free Manufacturing Research Center, novel sensor development activities for enhanced process control SAND-96-2557C DE97 000729 CONF-9610023

Sandia/SEMATECH Contamination Free Manufacturing Research Center, novel sensor development activities for enhanced process control

SAND-96-2557C DE97 000729 CONF-9610023

国立国会図書館請求記号: LS-DE97/000729
国立国会図書館書誌ID: 000005862781

資料種別: 規格・テクニカルリポート類

著者: Cohen, Sほか

出版者: -

出版年: 1996

資料形態: マイクロ

ページ数・大きさ等: 8 p. (1 microfiche)

NDC: -

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書誌情報

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マイクロ

資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Sandia/SEMATECH Contamination Free Manufacturing Research Center, novel sensor development activities for enhanced process control
著者・編者: Cohen, S
Kelly, M
出版年月日等: 1996
出版年（W3CDTF）: 1996
数量: 8 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-96-2557C
テクニカルリポート番号 : DE97 000729
テクニカルリポート番号 : CONF-9610023
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE97/000729
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005862781
http://id.ndl.go.jp/bib/000005862781
整理区分コード: 291