Enhanced diffusion of dopants in vacancy supersaturation produced by MeV implantation CONF-970302-6 DE97 006058

Enhanced diffusion of dopants in vacancy supersaturation produced by MeV implantation

CONF-970302-6 DE97 006058

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資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Enhanced diffusion of dopants in vacancy supersaturation produced by MeV implantation
著者・編者: Venezia, V. C
Haynes, T. E
Agarwal, A
Gossmann, H. J
Eaglesham, D. J
出版年月日等: 1997
出版年（W3CDTF）: 1997
数量: 9 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : CONF-970302-6
テクニカルリポート番号 : DE97 006058
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE97/006058
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005869098
http://id.ndl.go.jp/bib/000005869098
整理区分コード: 291