Simulations of dielectric etch in high density plasma reactors

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Simulations of dielectric etch in high density plasma reactors
• 著者・編者: Johannes, Justine; Meeks, Ellen; Bartel, Timothy; Hebner, Greg; Miller, Paul; Economou, Demetre; Feldsein, John
• 出版年月日等: 1998
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 9 p
• 並列タイトル等: Plasmadynamics and lasers conference. 29th. Albuquerque, N.M. Jun. 1998
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : AIAA-98-2983
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M-AIAA-98-2983
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005870902; http://id.ndl.go.jp/bib/000005870902
• 整理区分コード: 291