Electrical and chemical characterization of FIB-deposited insulators

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Electrical and chemical characterization of FIB-deposited insulators
• 著者・編者: Campbell, A. N; Tanner, D. M; Soden, J. M; Adams, E; Gibson, M
• 出版年月日等: 1997
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 8 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND-97-1965C; テクニカルリポート番号 : DE97 008362; テクニカルリポート番号 : CONF-9710371
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE97/008362
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005872170; http://id.ndl.go.jp/bib/000005872170
• 整理区分コード: 291