Low-temperature growth and orientational control in RuO(sub 2) thin films by metal-organic chemical vapor deposition

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Low-temperature growth and orientational control in RuO(sub 2) thin films by metal-organic chemical vapor deposition
• 著者・編者: Bai, G. R; Wang, A; Foster, C. M; Vetrone, J; Patel, J
• 出版年月日等: 1996
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 15 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : ANL/MSD/PP-90937; テクニカルリポート番号 : DE97 007885
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE97/007885
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005881830; http://id.ndl.go.jp/bib/000005881830
• 整理区分コード: 291