Progress in silicon-to-silicon direct bonding and its application to synchrotron x-ray optics

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Progress in silicon-to-silicon direct bonding and its application to synchrotron x-ray optics
• 著者・編者: Graber, T; Krasnicki, S; Fernandez, P. B
• 出版年月日等: 1997
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 13 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : ANL/XFD/CP-94495; テクニカルリポート番号 : DE98 000291
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE98/000291
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005882783; http://id.ndl.go.jp/bib/000005882783
• 整理区分コード: 291