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規格・テクニカルリポート類

Development of CVD processes for the deposition of thin films UCE-143658296 DE97 758963

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Development of CVD processes for the deposition of thin films

UCE-143658296 DE97 758963

国立国会図書館請求記号
LS-DE97/758963
国立国会図書館書誌ID
000005883682
資料種別
規格・テクニカルリポート類
著者
Park, D. Gほか
出版者
-
出版年
1996
資料形態
マイクロ
ページ数・大きさ等
106 p. (2 microfiches)
NDC
-
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マイクロ

資料種別
規格・テクニカルリポート類
タイトル
Development of CVD processes for the deposition of thin films
著者・編者
Park, D. G
Lee, J. K
Woo, J. M
Lee, S. R
出版年月日等
1996
出版年（W3CDTF）
1996
数量
106 p. (2 microfiches)
資料種別（注記）
[microform]
リポート番号
テクニカルリポート番号 : UCE-143658296
テクニカルリポート番号 : DE97 758963
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
LS-DE97/758963