Laser-based optical scattering detection of surface and subsurface defects in machined Si(sub 3)N(sub 4) components ANL/ET/CP-92713 DE97 007071 CONF-9701781

Laser-based optical scattering detection of surface and subsurface defects in machined Si(sub 3)N(sub 4) components

ANL/ET/CP-92713 DE97 007071 CONF-9701781

国立国会図書館請求記号: LS-DE97/007071
国立国会図書館書誌ID: 000005884284

資料種別: 規格・テクニカルリポート類

著者: Sun, J. Gほか

出版者: -

出版年: 1997

資料形態: マイクロ

ページ数・大きさ等: 10 p. (1 microfiche)

NDC: -

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書誌情報

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マイクロ

資料種別: 規格・テクニカルリポート類
タイトル: Laser-based optical scattering detection of surface and subsurface defects in machined Si(sub 3)N(sub 4) components
著者・編者: Sun, J. G
Shirber, M
Ellingson, W. A
Haselkorn, M. H
出版年月日等: 1997
出版年（W3CDTF）: 1997
数量: 10 p. (1 microfiche)
資料種別（注記）: [microform]
リポート番号: テクニカルリポート番号 : ANL/ET/CP-92713
テクニカルリポート番号 : DE97 007071
テクニカルリポート番号 : CONF-9701781
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DE97/007071
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000005884284
http://id.ndl.go.jp/bib/000005884284
整理区分コード: 291