Spatially resolved measurements of CH concentration and temperature in a hot-filament CVD reactor

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Spatially resolved measurements of CH concentration and temperature in a hot-filament CVD reactor
• 著者・編者: Wahl, Edward H; Owano, Thomas G; Kruger, Charles H; Lommatzsch, Uwe; Aderhold, Dirk; Zare, Richard N
• 出版年月日等: 1999
• 出版年（W3CDTF）: 1999
• 数量: 13 p
• 並列タイトル等: Plasmadynamics and lasers conference. 30th. Norfolk, Va. Jun. -Jul. 1999
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : AIAA-99-3602
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M-AIAA-99-3602
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005914206; http://id.ndl.go.jp/bib/000005914206
• 整理区分コード: 291