Effect of frequency on the lifetime of a surface micromachined microengine driving a load

• 資料種別: 規格・テクニカルリポート類
• タイトル: Effect of frequency on the lifetime of a surface micromachined microengine driving a load
• 著者・編者: Tanner, D. M; Miller, W. M; Eaton, W. P; Irwin, L. W; Peterson, K. A
• 出版年月日等: 1998
• 出版年（W3CDTF）: 1998
• 数量: 12 p. (1 microfiche)
• 資料種別（注記）: [microform]
• リポート番号: テクニカルリポート番号 : SAND972288C; テクニカルリポート番号 : DE98 003047
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: LS-DE98/003047
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000005946045; http://id.ndl.go.jp/bib/000005946045
• 整理区分コード: 291