Ion implantation, sputtering and their applications / by P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley.

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資料種別: 図書
ISBN: 0126969507
タイトル: Ion implantation, sputtering and their applications / by P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley.
著者標目: Townsend, Peter David ( 00962374 )典拠
Kelly, J. C. (John Clive)
Hartley, N. E. W.
出版事項: London : Academic Press
New York : Academic Press
出版年月日等: 1976.
出版年（W3CDTF）: 1976
数量: ix, 333 p. : ill. ; 24 cm.
出版地（国名コード）: GB
本文の言語コード: eng
件名標目: Ion implantation.
Sputtering (Physics)
LCC: QC702.7.I55
DDC: 530.4/1
NDLC: MC141
書誌注記: Includes bibliographies and index.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: MC141-116
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000006351443
http://id.ndl.go.jp/bib/000006351443
LC control number: 75196983 //r90
https://lccn.loc.gov/75196983
整理区分コード: 211