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Ion implantation, sputtering and their applications / by P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley.

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Ion implantation, sputtering and their applications / by P. D. Townsend, J. C. Kelly, N. E. W. Hartley.

国立国会図書館請求記号
MC141-116
国立国会図書館書誌ID
000006351443
資料種別
図書
著者
Townsend, Peter Davidほか
出版者
Academic Press
出版年
1976.
資料形態
ページ数・大きさ等
ix, 333 p. : ill. ; 24 cm.
NDC
-
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書誌情報

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資料種別
図書
ISBN
0126969507
出版年月日等
1976.
出版年(W3CDTF)
1976
数量
ix, 333 p. : ill. ; 24 cm.
出版地(国名コード)
GB
本文の言語コード
eng