The capabilities and limitations of auger sputter profiling for studies of semiconductors / S.A. Schwarz ... [et al.] ; sponsored by the Defense Advanced Research Projects Agency (NBS special publication : 400-67) (Semiconductor measurement technology)

The capabilities and limitations of auger sputter profiling for studies of semiconductors / S.A. Schwarz ... [et al.] ; sponsored by the Defense Advanced Research Projects Agency

(NBS special publication : 400-67) (Semiconductor measurement technology)

国立国会図書館請求記号: YCA-C 13.10:400-67
国立国会図書館書誌ID: 000006498377

資料種別: 図書

著者: Schwarz, S. Aほか

出版者: -

出版年: 1981

資料形態: マイクロ

ページ数・大きさ等: microfiche ; 11 × 15 cm

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: "Issued September 1981."Physical description for original version: vi, 46 p. : 26 cm

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書誌情報

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マイクロ

資料種別: 図書
タイトル: The capabilities and limitations of auger sputter profiling for studies of semiconductors / S.A. Schwarz ... [et al.] ; sponsored by the Defense Advanced Research Projects Agency
シリーズタイトル: NBS special publication : 400-67
Semiconductor measurement technology
著者標目: Schwarz, S. A
United States. Defense Advanced Research Projects Agency
United States. National Bureau of Standards
出版年（W3CDTF）: 1981
数量: microfiche
大きさ: 11 × 15 cm
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
資料種別（注記）: [microform]
件名標目: Sputtering (Physics)
Metal oxide semiconductors
Semiconductors
一般注記: "Issued September 1981."
Physical description for original version: vi, 46 p. : 26 cm
書誌注記: Includes bibliographical references
原資料等に関する注記: 原資料の出版事項: Washington, D.C. : U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards, 1981
SUPTDOC番号: C 13.10: 400-67
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: YCA-C 13.10:400-67
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000006498377
http://id.ndl.go.jp/bib/000006498377
GPO番号: 82004606
整理区分コード: 281