Analytic analysis of ellipsometric errors / Deane Chandler-Horowitz

• 資料種別: 図書
• タイトル: Analytic analysis of ellipsometric errors / Deane Chandler-Horowitz
• シリーズタイトル: Semiconductor measurement technology; NBS special publication ; 400-78
• 著者標目: Chandler-Horowitz, Deane; United States. National Bureau of Standards
• 出版年（W3CDTF）: 1986
• 数量: microfiche
• 大きさ: 11 × 15 cm
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 資料種別（注記）: [microform]
• 件名標目: Ellipsometry -- Data processing
• 一般注記: Distributed to depository libraries in microfiche; "Issued May 1986."; Physical description for original version: iii, 32 p. : 28 cm
• 書誌注記: Bibliography: p. 11
• 原資料等に関する注記: 原資料の出版事項: Gaithersburg, MD ; Washington, DC : U.S. Dept. of Commerce, National Bureau of Standards : For sale by the Supt. of Docs., U.S. G.P.O., 1986; SUPTDOC番号: C 13.10: 400-78; GPO管理番号: 247 (microfiche)
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: YCA-C 13.10:400-78
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006536582; http://id.ndl.go.jp/bib/000006536582
• GPO番号: 87001743
• 整理区分コード: 281