Characterization of SiGe/Ge heterostructures and graded layers using variable angle spectroscopic ellipsometry [microform] / A.R. Heyd ... [et al.] (NASA-TM ; 111685)
資料に関する注記
一般注記:
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。