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蒸着機構の熱動力学的研究

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蒸着機構の熱動力学的研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H01460119
国立国会図書館書誌ID
000006974013
資料種別
図書
著者
尾添, 紘之, 九州大学
出版者
-
出版年
1989-1990
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
蒸着機構の熱動力学的研究
タイトルよみ
ジョウチャク キコウ ノ ネツ ドウリョクガクテキ ケンキュウ
著者・編者
尾添, 紘之, 九州大学
著者標目
著者 ： 尾添, 紘之 オゾエ, ヒロユキ ( 01201717 )典拠
九州大学 キュウシュウ ダイガク ( 00260072 )典拠
出版年月日等
1989-1990
出版年（W3CDTF）
1989
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
薄膜 ハクマク
真空蒸着 シンクウジヨウチヤク
凝縮 ギヨウシユク
振動励起 シンドウレイキ
電子線 デンシセン
レーザー レーザー
電界 デンカイ