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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- Si キバン オ トクチョウ ト スル フッカブツ/Si チョウビサイ コウゾウ ハッコウ デバイス ニ カンスル キソ ケンキュウ
- 著者・編者
- 荒井, 滋久, 東京工業大学
- 著者標目
- 荒井, 滋久 アライ, シゲヒサ
- 出版年月日等
- 1989-1990
- 出版年(W3CDTF)
- 1989
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- Si基板 SIキバンICBE法 ICBEホウCaF2/Si超格子 CAF2/SIチヨウコウシ弗化物 フツカブツ弗化物/Si超微細構造 フツカブツ/SIチヨウビサイコウゾウバンド講造 バンドコウゾウ発光デバイス ハツコウデバイス光電子集積回路 (OEIC) コウデンシシユウセキカイロ (OEIC)