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動的スペツクル照射による2次元表面粗さのインプロセス計測に関する研究

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動的スペツクル照射による2次元表面粗さのインプロセス計測に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H01550097
国立国会図書館書誌ID
000006975203
資料種別
図書
著者
吉村, 武晃, 神戸大学
出版者
-
出版年
1989-1990
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ドウテキ スペツクル ショウシャ ニ ヨル 2 ジゲン ヒョウメン アラサ ノ インプロセス ケイソク ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
吉村, 武晃, 神戸大学
著者標目
吉村, 武晃 ヨシムラ, タケアキ
出版年月日等
1989-1990
出版年(W3CDTF)
1989
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
表面粗さ計 ヒヨウメンアラサケイ
非接触測定 ヒセツシヨクソクテイ
画像計測 ガゾウケイソク
動的スペツクル ドウテキスペツクル
2次モーメント測定 2ジモーメントソクテイ
冷延鋼板 レイエンコウハン