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SIMOXを用いた高トランスコンダクタンスMOS電界効果トランジスタの試作研究

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SIMOXを用いた高トランスコンダクタンスMOS電界効果トランジスタの試作研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H01850005
国立国会図書館書誌ID
000006976722
資料種別
図書
著者
菅野, 卓雄, 東京大学
出版者
-
出版年
1989-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
SIMOX オ モチイタ コウトランスコンダクタンス MOS デンカイ コウカ トランジスタ ノ シサク ケンキュウ
著者・編者
菅野, 卓雄, 東京大学
著者標目
菅野, 卓雄 スガノ, タクオ
出版年月日等
1989-1992
出版年(W3CDTF)
1989
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究
件名標目
SIMOX SIMOX
SOI SOI
MOSFET MOSFET
集積回路 シユウセキカイロ
超高速デバイス チヨウコウソクデバイス
低消費電力 テイシヨウヒデンリヨク
シリコン シリコン
薄膜 ハクマク