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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトル
- タイトルよみ
- マイクロロボツト ノ シサク ケンキュウ
- 著者・編者
- 三浦, 宏文, 東京大学
- 著者標目
- 三浦, 宏文, 1938-2020 ミウラ, ヒロフミ, 1938-2020 ( 00137606 )典拠
- 出版年月日等
- 1989-1991
- 出版年（W3CDTF）
- 1989
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究
- 件名標目
- マイクロロボツト マイクロロボツトマイクロフアブリケーシヨン マイクロフアブリケーシヨンIC製造プロセス ICセイゾウプロセス静電アクチユエータ セイデンアクチユエータ昆虫規範型マイクロロボツト コンチユウキハンガタマイクロロボツト