新しい放射線レジストの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 新しい放射線レジストの開発
• タイトルよみ: アタラシイ ホウシャセン レジスト ノ カイハツ
• 著者・編者: 江川, 博明, 熊本大学
• 著者標目: 江川, 博明 エガワ, ヒロアキ
• 出版年月日等: 1989-1991
• 出版年（W3CDTF）: 1989
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究
• 件名標目: 電子線レジスト デンシセンレジスト; 2, 3 エピチオプロピルメタクリラート 2, 3エピチオプロピルメタクリラート; コントラスト コントラスト; 耐プラズマ性 タイプラズマセイ; エツチング エツチング; 感度曲線 カンドキヨクセン; 後硬化現象 ゴコウカゲンシヨウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 01850203
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H01850203
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006976895; http://id.ndl.go.jp/bib/000006976895
• 整理区分コード: 214