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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- マイクロ チノウカ ウンドウ システム
- 著者・編者
- 原島, 文雄, 東京大学
- 著者標目
- 原島, 文雄 ハラシマ, フミオ
- 出版年月日等
- 1990-
- 出版年（W3CDTF）
- 1990
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 総合研究(B)
- 件名標目
- マイクロ運動システム マイクロウンドウシステム微小機械 ビシヨウキカイマイクロマシーニング マイクロマシーニングマイクロマシン マイクロマシンマイクロメカトロニクス マイクロメカトロニクスマイクロアクチユエータ マイクロアクチユエータマイクロ理工学 マイクロリコウガク