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図書
半導体製造における液体有機材料の生体影響に関する基礎的研究
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半導体製造における液体有機材料の生体影響に関する基礎的研究
国立国会図書館請求記号
Y151-H02404035
国立国会図書館書誌ID
000006977588
資料種別
図書
著者
桜井, 治彦, 慶応義塾大学
出版者
-
出版年
1990-1992
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
半導体製造における液体有機材料の生体影響に関する基礎的研究
タイトルよみ
ハンドウタイ セイゾウ ニ オケル エキタイ ユウキ ザイリョウ ノ セイタイ エイキョウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
著者・編者
桜井, 治彦, 慶応義塾大学
著者標目
桜井, 治彦
サクライ, ハルヒコ
出版年月日等
1990-1992
出版年(W3CDTF)
1990
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 一般研究(A)
件名標目
半導体
ハンドウタイ
毒性
ドクセイ
有機液体珪素化合物
ユウキエキタイケイソカゴウブツ
テトラエトキシシラン
テトラエトキシシラン
動物実験
ドウブツジツケン
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
02404035
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H02404035
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000006977588
http://id.ndl.go.jp/bib/000006977588
整理区分コード
214
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