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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- タソウ セキソウ コウゾウ チョウ LSI ケイセイジ ノ ザンリュウ オウリョク カイセキ ト チョウオンパ オ モチイタ シンライセイ ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ
- 著者・編者
- 小林, 英男, 東京工業大学
- 著者標目
- 小林, 英男, 1942- コバヤシ, ヒデオ, 1942- ( 00033010 )典拠
- 出版年月日等
- 1990-1992
- 出版年（W3CDTF）
- 1990
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)