イオンビームミキシング法によるTiN膜の作製とその疲労破壊の解明

• 資料種別: 図書
• タイトル: イオンビームミキシング法によるTiN膜の作製とその疲労破壊の解明
• タイトルよみ: イオンビームミキシングホウ ニ ヨル TiN マク ノ サクセイ ト ソノ ヒロウ ハカイ ノ カイメイ
• 著者・編者: 村上, 理一, 徳島大学
• 著者標目: 村上, 理一 ムラカミ, リイチ
• 出版年月日等: 1990-1991
• 出版年（W3CDTF）: 1990
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: セラミツク薄膜 セラミツクハクマク; イオンビーム技術 イオンビームギジユツ; 表面改質 ヒヨウメンカイシツ; 疲労寿命 ヒロウジユミヨウ; 密着強度 ミツチヤクキヨウド; 摩擦係数 マサツケイスウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 02650058
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H02650058
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006979501; http://id.ndl.go.jp/bib/000006979501
• 整理区分コード: 214