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反射電子顕微鏡による原子尺度でのダイヤモンド膜成長過程のその場観察

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反射電子顕微鏡による原子尺度でのダイヤモンド膜成長過程のその場観察

国立国会図書館請求記号
Y151-H02650465
国立国会図書館書誌ID
000006979731
資料種別
図書
著者
角田, 直人, 大阪大学
出版者
-
出版年
1990-1991
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハンシャ デンシ ケンビキョウ ニ ヨル ゲンシ シャクド デ ノ ダイヤモンドマク セイチョウ カテイ ノ ソノ バ カンサツ
著者・編者
角田, 直人, 大阪大学
著者標目
角田, 直人 スミダ, ナオト
出版年月日等
1990-1991
出版年(W3CDTF)
1990
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
気相成長ダイヤモンド膜 キソウセイチヨウダイヤモンドマク
結晶表面の微視的観察 ケツシヨウヒヨウメンノビシテキカンサツ
ダイヤモンド膜の成長過程 ダイヤモンドマクノセイチヨウカテイ
反射電子顕微鏡像 ハンシヤデンシケンビキヨウゾウ
熱フイラメント一直流プラズマ複合CVD法 ネツフイラメントイチチヨクリユウプラズマフクゴウCVDホウ