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原子蒸着法及び高真空中CVD法によるダイヤモンド低温合成と評価

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原子蒸着法及び高真空中CVD法によるダイヤモンド低温合成と評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H02805005
国立国会図書館書誌ID
000006980944
資料種別
図書
著者
犬塚, 直夫, 青山学院大学
出版者
-
出版年
1990-1991
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ゲンシ ジョウチャクホウ オヨビ コウシンクウ チュウ CVD ホウ ニ ヨル ダイヤモンド テイオン ゴウセイ ト ヒョウカ
著者・編者
犬塚, 直夫, 青山学院大学
著者標目
犬塚, 直夫 イヌヅカ, タダオ
出版年月日等
1990-1991
出版年(W3CDTF)
1990
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
ダイヤモンド ダイヤモンド
CVD法 CVDホウ
原子蒸着法 ゲンシジヨウチヤクホウ
炭素クラスター タンソクラスター
低温合成 テイオンゴウセイ