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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- イオンビームアシストホウ ニ ヨル Bi ケイ コウオン チョウデンドウタンケッショウハイコウ ハクマク ノ テイオン セイチョウ
- 著者・編者
- 遠藤, 民生, 三重大学
- 著者標目
- 遠藤, 民生 エンドウ, タミオ
- 出版年月日等
- 1990-1992
- 出版年（W3CDTF）
- 1990
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- 高温超伝導薄膜作成 コウオンチヨウデンドウハクマクサクセイビスマス系2212相 ビスマスケイ2212ソウイオンビームアシスト装置 イオンビームアシストソウチイオンビームスパツタ装置 イオンビームスパツタソウチ表面マイグレーシヨン ヒヨウメンマイグレーシヨン酸化促進 サンカソクシンアニール アニール転移温度91K テンイオンド91K