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電子線励起による化合物半導体の選択的結晶成長に関する研究

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電子線励起による化合物半導体の選択的結晶成長に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H03402023
国立国会図書館書誌ID
000006981546
資料種別
図書
著者
柊元, 宏, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1991-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
デンシセンレイキ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ センタクテキ ケッショウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
柊元, 宏, 東京工業大学
著者標目
柊元, 宏 クキモト, ヒロシ
出版年月日等
1991-1993
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(A)
件名標目
選択成長 センタクセイチヨウ
電子線励起 デンシセンレイキ
化合物半導体 カゴウブツハンドウタイ
ケミカルビームエピタキシー ケミカルビームエピタキシー
表面改質 ヒヨウメンカイシツ