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薄膜の厚さ測定に音響信号を利用する新しい方法の研究

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薄膜の厚さ測定に音響信号を利用する新しい方法の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H03650098
国立国会図書館書誌ID
000006983592
資料種別
図書
著者
一宮, 亮一, 新潟大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ハクマク ノ アツサ ソクテイ ニ オンキョウ シンゴウ オ リヨウ スル アタラシイ ホウホウ ノ ケンキュウ
著者・編者
一宮, 亮一, 新潟大学
著者標目
一宮, 亮一, 1932- イチミヤ, リョウイチ, 1932- ( 00216868 )典拠
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
薄膜 ハクマク
測定 ソクテイ
厚さ アツサ
周波数 シユウハスウ
音響 オンキヨウ
共鳴 キヨウメイ