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低周波重畳による高周波誘導熱プラズマの高温反応場の広域化に関する研究

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低周波重畳による高周波誘導熱プラズマの高温反応場の広域化に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H03650226
国立国会図書館書誌ID
000006983663
資料種別
図書
著者
作田, 忠裕, 金沢大学
出版者
-
出版年
1991-1992
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
テイシュウハ チョウジョウ ニ ヨル コウシュウハ ユウドウ ネツ プラズマ ノ コウオン ハンノウジョウ ノ コウイキカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
作田, 忠裕, 金沢大学
著者標目
作田, 忠裕 サクタ, タダヒロ
出版年月日等
1991-1992
出版年(W3CDTF)
1991
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
誘導プラズマ ユウドウプラズマ
熱プラズマ ネツプラズマ
低周波大電流 テイシユウハダイデンリユウ
プラズマ拡大化 プラズマカクダイカ
プロセス・プラズマ プロセス・プラズマ
高温・高反応性 コウオン・コウハンノウセイ