シリコン基板上の複合圧電ダイアフラム構造を用いた溶液系物性値測定用ラム波センサ

• 資料種別: 図書
• タイトル: シリコン基板上の複合圧電ダイアフラム構造を用いた溶液系物性値測定用ラム波センサ
• タイトルよみ: シリコン キバン ジョウ ノ フクゴウ アツデン ダイアフラム コウゾウ オ モチイタ ヨウエキケイ ブッセイチ ソクテイヨウ ラムハ センサ
• 著者・編者: 山口, 正恒, 千葉大学
• 著者標目: 山口, 正恒 ヤマグチ, マサツネ
• 出版年月日等: 1991-1992
• 出版年（W3CDTF）: 1991
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: 超音波 チヨウオンパ; ラム波 ラムハ; センサ センサ; 圧電材料 アツデンザイリヨウ; 酸化亜鉛 サンカアエン; 液体センサ エキタイセンサ; ウイグナー分布 ウイグナーブンプ; シリコン シリコン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 03650319
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H03650319
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006983709; http://id.ndl.go.jp/bib/000006983709
• 整理区分コード: 214