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Study of Ultra-Thin-Film/Ultra-Fine-Structure Devices 超薄膜超微細構造デバイスに関する研究

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Study of Ultra-Thin-Film/Ultra-Fine-Structure Devices 超薄膜超微細構造デバイスに関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H04044062
国立国会図書館書誌ID
000006985368
資料種別
図書
著者
小田, 俊理, 東京工業大学
出版者
-
出版年
1992-1993
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
Study of Ultra-Thin-Film/Ultra-Fine-Structure Devices チョウハクマク チョウビサイ コウゾウ デバイス ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
小田, 俊理, 東京工業大学
著者標目
著者 : 小田, 俊理, 1951- オダ, シュンリ, 1951- ( 00204023 )典拠
出版年月日等
1992-1993
出版年(W3CDTF)
1992
数量
その他のタイトル
研究種目 国際学術研究
件名標目
超高速デバイス チヨウコウソクデバイス
超伝導デバイス チヨウデンドウデバイス
極微細加工プロセス キヨクビサイカコウプロセス
電子ビーム露光技術 デンシビームロコウギジユツ
超薄膜結晶成長 チヨウハクマクケツシヨウセイチヨウ
量子効果デバイス リヨウシコウカデバイス