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シングルイオン注入法の実現と固体物性制御への応用

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シングルイオン注入法の実現と固体物性制御への応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H05101003
国立国会図書館書誌ID
000006989990
資料種別
図書
著者
大泊, 巌, 早稲田大学
出版者
-
出版年
1993-1996
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別
図書
タイトル
シングルイオン注入法の実現と固体物性制御への応用
タイトルよみ
シングルイオン チュウニュウホウ ノ ジツゲン ト コタイ ブッセイ セイギョ ヘ ノ オウヨウ
著者・編者
大泊, 巌, 早稲田大学
著者標目
著者 ： 大泊, 巌 オオドマリ, イワオ ( 00875965 )典拠
出版年月日等
1993-1996
出版年（W3CDTF）
1993
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 特別推進研究
件名標目
シングルイオン シングルイオン
シングルイオン注入 シングルイオンチユウニユウ
FIB FIB
点欠陥 テンケツカン
物質制御 ブツシツセイギヨ
陽電子消滅 ヨウデンシシヨウメツ
極微構造 キヨクビコウゾウ
表面構造相転移 ヒヨウメンコウゾウソウテンイ