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微小傾角基板を用いた単一電子トンネル・デバイスの研究

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微小傾角基板を用いた単一電子トンネル・デバイスの研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H05452200
国立国会図書館書誌ID
000006990775
資料種別
図書
著者
菅野, 卓雄, 東洋大学
出版者
-
出版年
1993-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ビショウケイカク キバン オ モチイタ タンイツ デンシ トンネル ・ デバイス ノ ケンキュウ
著者・編者
菅野, 卓雄, 東洋大学
著者標目
菅野, 卓雄 スガノ, タクオ
出版年月日等
1993-1995
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(B)
件名標目
高精度微小傾角基板 コウセイドビシヨウケイカクキバン
ステツプ構造 ステツプコウゾウ
異方性エツチング イホウセイエツチング
表面反転層 ヒヨウメンハンテンソウ
単電子トランジスタ タンデンシトランジスタ
量子ドツト リヨウシドツト
極微細パターン キヨクビサイパターン
非対称トンネル障壁 ヒタイシヨウトンネルシヨウヘキ