パルスエアジエツトによる表面の乾式洗浄

• 資料種別: 図書
• タイトル: パルスエアジエツトによる表面の乾式洗浄
• タイトルよみ: パルスエアジエツト ニ ヨル ヒョウメン ノ カンシキ センジョウ
• 著者・編者: 江見, 準, 金沢大学
• 著者標目: 江見, 準 エミ, ヒトシ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(B)
• 件名標目: 乾式洗浄 カンシキセンジヨウ; 粒子飛散 リユウシヒサン; パルスエアジエツト パルスエアジエツト
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05452301
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05452301
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006990864; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990864
• 整理区分コード: 214