図書

広圧力帯域用スパツタイオンポンプの試作研究

図書を表すアイコン

広圧力帯域用スパツタイオンポンプの試作研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H05555011
国立国会図書館書誌ID
000006991792
資料種別
図書
著者
船戸, 康幸, 鈴鹿工業高等専門学校
出版者
-
出版年
1993-1995
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書店で探す

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。

紙

資料種別
図書
タイトル
広圧力帯域用スパツタイオンポンプの試作研究
タイトルよみ
コウアツリョク タイイキヨウ スパツタイオンポンプ ノ シサク ケンキュウ
著者・編者
船戸, 康幸, 鈴鹿工業高等専門学校
著者標目
船戸, 康幸 フナト, ヤスユキ
出版年月日等
1993-1995
出版年（W3CDTF）
1993
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
LaB6陰極 LAB6インキヨク
広圧力帯域 コウアツリヨクタイイキ
水排気 ミズハイキ
スパツタポンプ スパツタポンプ
QMS測定 QMSソクテイ
XPS測定 XPSソクテイ
プラズマパラメータ プラズマパラメータ
超高真空 チヨウコウシンクウ