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光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

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光集積デバイス用高精細レーザビーム描画装置の試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H05555014
国立国会図書館書誌ID
000006991795
資料種別
図書
著者
春名, 正光, 大阪大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒカリ シュウセキ デバイスヨウ コウセイサイ レーザビーム ビョウガ ソウチ ノ シサク
著者・編者
春名, 正光, 大阪大学
著者標目
著者 : 春名, 正光, 1945- ハルナ, マサミツ, 1945- ( 00683516 )典拠
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
集積光学 シユウセキコウガク
レーザビーム描画装置 レーザビームビヨウガソウチ
光デバイス ヒカリデバイス