赤外線偏光レーザを用いたシリコン単結晶板の内部応力計測法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 赤外線偏光レーザを用いたシリコン単結晶板の内部応力計測法の開発
• タイトルよみ: セキガイセン ヘンコウ レーザ オ モチイタ シリコンタンケッショウバン ノ ナイブ オウリョク ケイソクホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 新津, 靖, 東京電機大学
• 著者標目: 新津, 靖 ニイツ, ヤスシ
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: 応力測定 オウリヨクソクテイ; シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ; 光弾性 コウダンセイ; 赤外線レーザ セキガイセンレーザ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05555035
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05555035
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006991814; http://id.ndl.go.jp/bib/000006991814
• 整理区分コード: 214