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マイクロマシン用高分解能光造形システムの試作

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マイクロマシン用高分解能光造形システムの試作

国立国会図書館請求記号
Y151-H05555038
国立国会図書館書誌ID
000006991817
資料種別
図書
著者
中島, 尚正, 東京大学
出版者
-
出版年
1993-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マイクロマシンヨウ コウブンカイノウ ヒカリ ゾウケイ システム ノ シサク
著者・編者
中島, 尚正, 東京大学
著者標目
中島, 尚正 ナカジマ, ナオマサ
出版年月日等
1993-1995
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
マイクロマシン マイクロマシン
光造形 ヒカリゾウケイ
レーザ レーザ
光硬化 ヒカリコウカ
樹脂 ジユシ