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図書

光の近接場を利用した微細加工

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光の近接場を利用した微細加工

国立国会図書館請求記号
Y151-H05555044
国立国会図書館書誌ID
000006991823
資料種別
図書
著者
片岡, 俊彦, 大阪大学
出版者
-
出版年
1993-1995
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヒカリ ノ キンセツジョウ オ リヨウ シタ ビサイ カコウ
著者・編者
片岡, 俊彦, 大阪大学
著者標目
片岡, 俊彦 カタオカ, トシヒコ
出版年月日等
1993-1995
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 試験研究(B)
件名標目
走査型近接場光学顕微鏡 ソウサガタキンセツバコウガクケンビキヨウ
境界要素法 キヨウカイヨウソホウ
ラテツクス球プローブ ラテツクスキユウプローブ
高空間分解能 コウクウカンブンカイノウ