高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製

• 資料種別: 図書
• タイトル: 高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製
• タイトルよみ: コウソク ・ コウキンイツ デジタル CVD オ モチイタ ULSI ヨウ コウキノウセイ ハクマク ノ サクセイ
• 著者・編者: 堀池靖浩, 東洋大学
• 著者標目: 堀池, 靖浩 ホリイケ, ヤスヒロ
• 出版年月日等: 1995-1995
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: デジタルCVD デジタルCVD; ULSI ULSI; 高機能性薄膜 コウキノウセイハクマク; 積層層間絶縁膜 セキソウソウカンゼツエンマク; コンフオーマルCVD コンフオーマルCVD; 低誘電率膜 テイユウデンリツマク; 時間変調プラズマ ジカンヘンチヨウプラズマ; バイアススパツタ バイアススパツタ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05555089
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05555089
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006991865; http://id.ndl.go.jp/bib/000006991865
• 整理区分コード: 214