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ダイヤモンド工具のリアクテイブイオンビーム加工

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ダイヤモンド工具のリアクテイブイオンビーム加工

国立国会図書館請求記号
Y151-H05650126
国立国会図書館書誌ID
000006992862
資料種別
図書
著者
宮本, 岩男, 東京理科大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ダイヤモンド コウグ ノ リアクテイブイオンビーム カコウ
著者・編者
宮本, 岩男, 東京理科大学
著者標目
宮本, 岩男 ミヤモト, イワオ
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
ダイヤモンド ダイヤモンド
酸素イオンビーム サンソイオンビーム
リアクテイブイオンビーム加工 リアクテイブイオンビームカコウ
加工速度 カコウソクド
AFM AFM
表面粗さ ヒヨウメンアラサ
水素イオンビーム スイソイオンビーム
分子動力学 ブンシドウリキガク