光エネルギーを用いた酸化物強誘電体薄膜のCYD成長とその特性制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: 光エネルギーを用いた酸化物強誘電体薄膜のCYD成長とその特性制御
• タイトルよみ: ヒカリ エネルギー オ モチイタ サンカブツ キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ CYD セイチョウ ト ソノ トクセイ セイギョ
• 著者・編者: 清水, 勝, 京都大学
• 著者標目: 清水, 勝 シミズ, マサル
• 出版年月日等: 1993-1994
• 出版年（W3CDTF）: 1993
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: DZT薄膜 DZTハクマク; 光奨起MOCVD法 ヒカリシヨウキMOCVDホウ; ソーク電流 ソークデンリユウ; 絶縁破壊電圧 ゼツエンハカイデンアツ; O3 O3; No2 NO2
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 05650302
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H05650302
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000006992942; http://id.ndl.go.jp/bib/000006992942
• 整理区分コード: 214