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高伝導性タングステン窒化薄膜の合成とフラクタル解析

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高伝導性タングステン窒化薄膜の合成とフラクタル解析

国立国会図書館請求記号
Y151-H05650761
国立国会図書館書誌ID
000006993123
資料種別
図書
著者
尾見, 信三, 東京農工大学
出版者
-
出版年
1993-1994
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウデンドウセイ タングステン チッカ ハクマク ノ ゴウセイ ト フラクタル カイセキ
著者・編者
尾見, 信三, 東京農工大学
著者標目
尾見, 信三 オミ, シンゾウ
出版年月日等
1993-1994
出版年(W3CDTF)
1993
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
タングステン窒化膜 タングステンチツカマク
薄膜 ハクマク
表面解析 ヒヨウメンカイセキ
成長パラメータ セイチヨウパラメータ
フラクタル解析 フラクタルカイセキ