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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- コウアツリョク マイクロハ プラズマ CVD ホウ ニ ヨル ダイヤモンド ビリュウシ ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 八木, 秀次, 愛媛大学
- 著者標目
- 八木, 秀次, 1948- ヤギ, ヒデツグ, 1948- ( 00976602 )典拠
- 出版年月日等
- 1994-1995
- 出版年(W3CDTF)
- 1994
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(B)
- 件名標目
- Microwave MICROWAVEPlasma PLASMACVD CVDHigh pressure HIGHPRESSUREDiamond DIAMOND